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三、X-Loupe G20 现场照相显微镜在硅片检测上的突出应用
1. 便携式照相显微镜,可随时随地检测硅片,不受空间限制。
2. 5秒之内完成检测、拍摄工作,方便快速,不受时间限制。 3. 更有300倍显微物镜,可观测到硅片绒面上,肉眼难观测到的裂纹、位错、划痕、崩边等现象。 4. 镜筒的内建持续光源,“同轴光源”确保取得基本影像,“低角度光源”用来突显微物影像的立体感与避免镜面反光。 5. 特有的“低角度光源”,藉由三段式的低角度光源投射,提供不同光源方向,并能抑制反光;九种不同的照明组合创造了不同的阴影条件,借以突显硅片表面的凹凸,呈现立体感。 6. 更有影像管理软件,可对硅片记录进行测量、批注、分析、生成不同格式报告等。
综上所述,X-Loupe G20 现场照相显微镜并非取代台式显微镜,而是对其做补充。在使用台式不便的情况下,更能体现出 G20 现场照相显微镜的优势。因此,在行业中被誉为“现场硅片检测得力助手”。
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