对于挥发性有机气体(VOCs),利用吸附方法来净化空气为国外常用的方法之一。亦即利用各种吸附剂特殊之吸附作用来除臭、除毒,或是利用吸附方法来回收气态废溶剂。由于适用的浓度范围广/一般从低浓度(即500.600ppm)至中、高浓度(爆炸范围以下)/,并且效果佳,因此广泛被使用。在国外使用的效果,回收效率普遍可达90.95%以上,较佳的情况更达99%以上。对于半导体、光电与电子业者,系属于大风量(450.1500CMM)、低浓度(<500ppm As CH4),对于VOCs的处理建议使用活性碳吸附系统,费用相当低廉。此法目前为日本、美国、欧盟等国家广泛被使用。事实上,无论是半导体业、光电业、电子业,都可以使用活性碳与回收设备处理VOCs。